latd系列是一款面向光伏、微电子等行业的toc脱除设备。 反应器和电控集成一体安装,更节约安装空间。 反应器
latp系列,针对upw超纯水系统设计,面向1ppb以下需求,可以高效去除水中的toc含量,适用于晶圆、光伏、
lt系列,装配式筒体结构,更方便安装维护,利用特殊紫外线光源,分解水体中总有机碳(toc)。设备拥有智能监控系